组合电器中的缺陷可能是在设备加工、组装、运输过程中产生的，或在现场安装过程中由于工艺不良产生的，还有可能是在正常运行中由于设备绝缘老化或水分进入或由于特殊运行方式及操作(例如快速接地开关或断路器的操作产生的颗粒)产生的。
SF6绝缘电气设备内可能存在的缺陷为：自由颗粒、导体上的毛刺、悬浮屏蔽、盆式绝缘子上的颗粒、绝缘子内部缺陷、内部器件的松动，见下图。
1、接地或带电部分上的凸起
带电部分或接地部分上的凸起将使电场畸变，这种缺陷对于雷电冲击或隔离开关操作产生的极快波前瞬态电压由于高压持续时间段，不能形成空间电荷，所以影响雷电冲击电压值。但是对于交流耐压，由于交流电压变化缓慢，顶部的电晕有时间形成空间电荷使顶端受到屏蔽，因此在交流耐压试验中很难发现这种缺陷。试验表明，相导体上超过1-2mm的凸起是影响安全运行的。接地体上的电场强度较低，对安全运行影响不大。
2、自由移动或固定颗粒
自由移动颗粒其尺寸越长，而且越靠近高压导体，隐患越严重，如果自由移动颗粒在支持绝缘子表面，将会使绝缘子表面逐渐裂化，甚至引起闪络，对设备安全运行构成严重威胁。同时，自由移动颗粒的位置、形状和大小还决定了交流耐压水平降低的程度，但是自由移动颗粒对雷电冲击电压值影响较小。
3、绝缘子中的气泡和缺陷
绝缘子内部的气隙、杂质或裂化会使放电电压逐渐上升、产生电树枝并最终导致击穿。然而，由于绝缘材料中的衰减，超声波局部放电检测仪器对这种缺陷灵敏度较低。
4、电气悬浮/机械松动的屏蔽
组合电器中存在的机械松动，很有可能形成悬浮电位。如果松动正好在带电的导体上，就会产生很大的放电量。机械松动将产生大的声信号，便于用超声波法进行检测。
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